仪器名称：场发射扫描电子显微镜（SEM）（冷场，带X射线能谱仪）
仪器型号： SU-8010（能谱仪：牛津X-max80）
国别、厂家： 日本日立公司

主要技术指标：
    分辨率: 1.0nm@15kV，1.3nm@1kV
    加速电压：0.1~30kV，0.1kV/步
    放大倍数：20~800,000倍，连续可调
    电子枪：冷阴极场发射电子枪
    检测器：高低位检测器可选择接收二次电子像或背散射电子像
    样品台：5轴马达驱动；最大样品直径100mm
    真空系统：具有高低真空功能，离子泵、涡轮分子泵、机械泵组成

主要附件：
    X射线能谱仪：大面积（80mm²）分析级SDD探头，MnK分辨率127eV；元素分析范围Be4~Cf98

主要功能及应用范围：
    该仪器具有超高分辨率，能观察各种固态样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像，配备超大窗口SDD探头的高性能X射线能谱仪，同时进行样品表层的微区点、线、面元素定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。与一般钨灯丝扫描电镜相比，它能以更高的分辨率观察固体样品表面显微结构和形貌，对金属、无机非金属、高分子、纳米等材料的表面超微结构形貌进行分析。

仪器安装地点：紫金港西区，和同苑2幢（化2）～320

仪器管理员：郑娜, 87952565