仪器名称：台式扫描电镜（SEM）（带X射线能谱仪）
仪器型号： SU-3500（能谱仪：牛津X-max20）
国别、厂家： 日本日立公司

主要技术指标：
    高真空分辨率: 二次电子像3.0nm@30kV
                  二次电子像7.0nm@3kV
                  背散射电子像：4.0nm@30kV
    低真空分辨率：背散射电子像：4.0nm@30kV
    加速电压：0.3~30kV，0.1kV/步
    放大倍数：5~300,000倍，连续可调
    电子枪：预对中钨灯丝电子枪
    探测器：高真空二次电子探测器，高灵敏5分割背散射电子探测器
    样品台：全电动5轴马达；可装载最大样品直径200mm，高度80mm
    真空系统：具有高低真空功能，低真空可变压力范围6Pa~650Pa

主要附件：
    X射线能谱仪：晶体有效面积≥20mm²，硅漂移SDD探头，MnK分辨率127eV；元素分析范围Be4~Cf98

主要功能及应用范围：
    该仪器具有超高分辨率，能观察各种固态样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像，配备超大窗口SDD探头的高性能X射线能谱仪，同时进行样品表层的微区点、线、面元素定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。
    与一般钨灯丝扫描电镜相比，它的低真空模式能够观察导电性能不好、或不喷金的样品的背散射电子像。

仪器安装地点：紫金港西区，和同苑2幢（化2）～320

仪器管理员：郑娜, 87952565